สารขัดถูเป็นส่วนประกอบหลักในการกำจัดวัสดุในเทคโนโลยีการขัดเงาด้วยน้ำแรงดันสูงแบบใช้สารขัดถู รูปร่าง ขนาด ชนิด และพารามิเตอร์อื่นๆ ของสารขัดถูมีผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพการประมวลผลและคุณภาพพื้นผิวของชิ้นงานที่ผ่านการประมวลผล ชนิดของสารขัดถูที่ใช้กันทั่วไปในปัจจุบัน ได้แก่ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC), อลูมิเนียมออกไซด์ (Al2O3), ซีลีเนียมออกไซด์ (CeO2), การ์เนต เป็นต้น โดยทั่วไปแล้ว ยิ่งเม็ดสารขัดถูมีความแข็งมากเท่าใด อัตราการกำจัดวัสดุและคุณภาพพื้นผิวก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้น
นอกจากนี้ ยังมีปัจจัยอื่นๆ ที่จะส่งผลต่อคุณภาพการขัดเงาอีกด้วย:
① ความกลม: ผลกระทบของความกลมของอนุภาคขัดต่อกระบวนการ ผลการวิจัยแสดงให้เห็นว่า ยิ่งอนุภาคขัดมีความกลมมากเท่าไร ความเร็วในการไหลออกก็จะยิ่งมากขึ้น อัตราการกำจัดวัสดุก็จะยิ่งสูงขึ้น และการสึกหรอของหัวฉีดก็จะยิ่งน้อยลงเท่านั้น
② ความสม่ำเสมอ: ผลกระทบของความสม่ำเสมอของขนาดอนุภาคต่อลักษณะการกำจัดด้วยแรงดันน้ำ ผลลัพธ์แสดงให้เห็นว่าการกระจายอัตราการกำจัดด้วยแรงดันน้ำของอนุภาคที่มีขนาดแตกต่างกันนั้นคล้ายคลึงกัน แต่อัตราการกำจัดด้วยแรงดันน้ำจะลดลงเมื่อขนาดอนุภาคเพิ่มขึ้น
③ขนาดอนุภาค: ผลกระทบของขนาดอนุภาคขัดต่อการกำจัดวัสดุ เมื่อเพิ่มขนาดอนุภาคขัด พื้นที่หน้าตัดของวัสดุที่ถูกกำจัดจะเปลี่ยนจากรูปตัว W เป็นรูปตัว U จากการวิเคราะห์เชิงทดลอง สรุปได้ว่าการชนกันระหว่างอนุภาคเป็นสาเหตุหลักของการกำจัดวัสดุ และพื้นผิวที่ขัดเงาด้วยอนุภาคขนาดนาโนจะถูกกำจัดออกไปทีละอะตอม